睿智精進股份有限公司 由半導體業超過十年的專業人員創立。 專注在半導體及面板相關產業需求的 Sensor 產品及應用的開發。 我們提供及時、專業、簡單易用的製程監測服務及完整解決方案。 睿智精進股份有限公司 專長領域 : 真空量測、製程氣體監測、Plasma (電漿) 監測,憑藉對行業的深刻理解和技術的卓越應用,致力於提供全方位的服務。無論是面對現在還是未來,睿智精進都將堅持不懈地追求卓越,為客戶提供最好的服務和解決方案,成為行業的引領者。幫助客戶克服各種挑戰,實現目標。
CVD/ Diffusion/ Etch 即時測漏系統 Satellite-Air 2
非接觸式 RF Arc 偵測
非接觸式 RF 電漿參數偵測
Pulsed RF Power 量測
電漿離子能量分析 RFEA Semion™ System
朗繆爾探針 Langmuir Probe System
殘留氣體分析系統 HORIBA RGA Monitor system
MO / Precursor 氣體濃度監測 HORIBA IR Monitor system