商品明細

非接觸式 RF 電漿參數偵測

    商品簡述
    - 感應式偵測，完全不影響製程
    - 單台可量測5個基頻及最多16個諧波
    - 判斷腔體外漏、氣體不純、電漿惡化等狀況
    - Not affect manufacturing process production
    - Each can measure 5 frequency & 16 harmonics
    - Diagnose problems: Chamber leaking, Gas purity, Plasma condition…etc.

      商品詳細介紹Product Introduction

      規格：

      - 頻率範圍： 400KHz ~ 100MHz

      - 取樣速度：10 Hz ( 每秒 10 點)

      - 量測參數：電壓、電流、相位差、諧波、阻抗

      Specification:

      - Frequency range : 400KHz ~ 100MHz

      - Sampling rate : 10 Hz  ( 10 points / sec. )

      - Parameters : Voltage, Current, Phase, Harmonics, Impedance

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