商品明細

殘留氣體分析系統 HORIBA RGA Monitor system

    商品簡述
    - 即時測漏，節省 ROR 時間，提高產能
    - 即時製程監測，檢測異常狀況，減少報廢
    - 製程 & PM 手法改善
    - Real time gas & process monitor
    - Improve the Process & PM technique 

      商品詳細介紹Product Introduction

      規格：

      - 工作壓力：0.7 Pa ~ 5 x10-6 Pa

      - Mass Range： 2 ~ 100 amu

      - 雙燈絲設計，分別校正。

      - 整合真空計保護系統 ＆ 自動加熱功能

      - 資料上傳： SECS / MODBUS / XML / PLC

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