商品明細

CVD/ Diffusion/ Etch 即時測漏系統 Satellite-Air 2

    商品簡述
    - 即時測漏不需停機取代ROR
    - 即時上傳數值至FDC
    - 無須配備額外的抽氣系統
    - Real time leak monitor replace ROR
    - No extra pump requirement
    - Data to FDC

      商品詳細介紹Product Introduction

      規格：

      - 工作壓力： 1E-8 Torr ～1500 Torr

      - 量測範圍： 1E-26 ppm ~ 100% of air

                              0.013 ppm ~ 100ppm H2O (選配)

      - 最小量測漏率：< 0.2 mTorr/min (ROR @ 100Liter chamber)

      - 通過 MET 美國 UL 安規認證

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