商品明細

電漿離子能量分析 RFEA Semion™ System

    商品簡述
    - 電漿離子能量 & 通量 分析系統
    - 可搭配不同尺寸 Holder 最多 13 顆 Sensor
    - 精準量測離子能量分佈 & 離子電流密度
    - Measure Ion Energy & Flux distribution
    - Up to 13 sensors integrated into a single holder and different shapes available
     

      商品詳細介紹Product Introduction

      規格：

      - Ion Energy Range：0 to 2000 eV (standard)

      - Ion Flux： 0.01 to 50 Am-2 (standard)

      - Pressure Range : ≤ 1.5 Torr (high pressure)

      - Max Working temperature ：150 °C

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